一种带有锁螺丝台阶的溅射夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种带有锁螺丝台阶的溅射夹具,包括夹具本体,所述夹具本体上设置有第一排放置单元、第二排放置单元和第三排放置单元,所述第一排放置单元、第二排放置单元和第三排放置单元均由多个产品放置孔组成,所述产品放置孔外侧固定有锁螺丝台阶,所述夹具本体位于锁螺丝台阶处开设有螺丝孔。本实用新型,锁螺丝台阶各留10*5*0.5mm台阶留着锁螺丝,其余玻璃放置台阶面按固定高度铣平,可避免边缘出现少镀;通过设置锁螺丝台阶,可方便镊子从边缘取片。
基本信息
专利标题 :
一种带有锁螺丝台阶的溅射夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922104580.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-29
授权号 :
CN211256075U
授权日 :
2020-08-14
发明人 :
杨志民孟庆宣
申请人 :
苏州京浜光电科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号
代理机构 :
苏州圆融专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭珊珊
优先权 :
CN201922104580.X
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50 C23C14/34 C03C17/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-08-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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