阻焊线路一体曝光的多光谱数字化曝光系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种阻焊线路一体曝光的多光谱数字化曝光系统,该系统包括:355nm固体激光器,其输出的波长为355nm的光对阻焊油墨的表层进行固化;反射镜,其将355nm固体激光器输出的波长为355nm的光投射到数字微反射镜上,经由数字微反射镜进行图形调制,并将数字信号转化成光信号,再通过宽光谱成像系统在曝光板上进行成像;同步控制器,其用于根据曝光板反馈的位置信息,通过触发数字微反射镜驱动板,驱动数字微反射镜输出图像,数字微反射镜将其微动镜片的反转脉冲信号通过数字微反射镜驱动板输送给光源控制板。本实用新型能够解决现有技术中由于单波长的激光直接曝光设备应用到阻焊制程中而导致的阻焊板表面光泽度不够和完全采用多个紫外LED多波长混合成像质量不佳的问题。
基本信息
专利标题 :
阻焊线路一体曝光的多光谱数字化曝光系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922156450.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-05
授权号 :
CN210691043U
授权日 :
2020-06-05
发明人 :
王瑞徐珍华杜卫冲
申请人 :
中山新诺科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一
代理机构 :
北京汇智胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
石辉
优先权 :
CN201922156450.0
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-06-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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