一种阻焊板麦拉曝光装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种阻焊板麦拉曝光装置,包括:曝光台面,用于放置阻焊板;底片,叠置于阻焊板上;支撑条,具有导通支撑条左右两侧的透气孔或透气槽,放置于曝光台面上,分布于阻焊板的周围且与阻焊板之间具有一定间距;麦拉片,放置于曝光台面、底片和支撑条上。在抽真空环境下,位于支撑条与阻焊板之间区域的部分麦拉片呈向下的凹状且不与曝光台面贴合,在底片和阻焊板周围区域形成一个定位轮廓,进行精准定位,防止位置相对偏移,而且支撑条能帮助底片和阻焊板分担了来自麦拉片的大部分压力,位于支撑条与阻焊板之间区域的部分麦拉片由于不与曝光台面贴合,对阻焊板的压力非常小,挤压作用不明显,防止阻焊板上出现底片印的情况。
基本信息
专利标题 :
一种阻焊板麦拉曝光装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922060325.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-25
授权号 :
CN211123619U
授权日 :
2020-07-28
发明人 :
刘俊峰张良昌聂小润关志锋
申请人 :
珠海杰赛科技有限公司;广州杰赛科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市斗门区乾务镇富山工业园富山三路1号
代理机构 :
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 :
张志辉
优先权 :
CN201922060325.X
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-07-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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