一种蚀刻退膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种蚀刻退膜机，包括机体，所述机体内部前后两端侧壁上设置有对称分布的基板运输机构，所述机体内部顶端安装有若干均匀分布的喷嘴，所述喷嘴的输入端与外界的进液管相连接，所述进液管安装在外界的退膜液储存罐上，所述进液管上安装有流量泵，所述基板运输机构下方设置有回收传送带，所述回收传送带的带面上开设有若干均匀分布的筛孔，所述机体右端开设有与回收传送带相对应的废膜出口，本实用新型结构简单，实现了退膜液的回收利用，并能够将退下的废膜集中处理，便于清理。
基本信息
专利标题 ：
一种蚀刻退膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922206161.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-10
授权号 ：
CN210959004U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
徐新涛
申请人 ：
广德均瑞电子科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省宣城市广德县经济开发区建设北路
代理机构 ：
合肥鼎途知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
叶丹
优先权 ：
CN201922206161.7
主分类号 ：
H05K3/06
IPC分类号 ：
H05K3/06
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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