一种用于原子力显微镜的探针操作装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种原子力显微镜的探针操作技术，具体涉及一种用于原子力显微镜的探针操作装置。本实用新型的技术方案如下：一种用于原子力显微镜的探针操作装置，包括探针拾取器、电动位移平台、控制器、操控器和系统基座；电动位移平台固定于系统基座的底部，探针拾取器固定于系统基座的上部并悬置于电动位移平台上方；探针拾取器、电动位移平台及操控器分别通过信号线缆与控制器相连；探针拾取器利用真空吸附原理实现对探针的可靠拾取与释放；电动位移平台用于实现探针在操作空间的四自由度位姿定位；操控器通过控制器控制电动位移平台运动和控制探针拾取器启停。本实用新型能够实现探针从探针盒到探针夹的可靠装配，以及探针从探针夹到探针盒的可靠卸载。
基本信息
专利标题 ：
一种用于原子力显微镜的探针操作装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922215433.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-12
授权号 ：
CN211235922U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
于斯涵许可
申请人 ：
沈阳建筑大学
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市浑南区浑南中路25号
代理机构 ：
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
任凯
优先权 ：
CN201922215433.X
主分类号 ：
G01Q60/38
IPC分类号 ：
G01Q60/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
G01Q60/38
探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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