一种扩散炉清洗装置

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摘要

本实用新型公开了一种扩散炉清洗装置，包括槽体本体，槽体本体上设有2个单独的同级清洗槽，槽体本体内部安装有旋转电机，所述旋转电机外接齿轮连接2根旋转轴，旋转轴上装有滚轮，滚轮上装有2根软质皮带，处理管道时与管道接触，在靠近旋转电机侧，两根旋转轴的中间位置设有一根进水管，进水管由机台底部引出，电磁阀控制进水开关，进水管口接PP材质软管，槽体本体尾端设有排液口，本实用新型保护了炉管的高温涂层，延长了炉管的使用寿命；降低了了炉管清洗工序的成本，单次化学试剂消耗量降低50％。

基本信息

专利标题：

一种扩散炉清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922253449.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-16

授权号：

CN211464158U

授权日：

2020-09-11

发明人：

崔文荣

申请人：

江苏晟驰微电子有限公司

申请人地址：

江苏省南通市海安经济技术开发区康华路55号

代理机构：

北京天盾知识产权代理有限公司

代理人：

张彩珍

优先权：

CN201922253449.X

主分类号：

B08B9/027

IPC分类号：

B08B9/027