一种感应读出的异层结构位敏阳极
授权
摘要

本实用新型提供了一种感应读出的异层结构位敏阳极,解决现有位敏阳极加工需要采用高精度的微电子工艺或激光刻蚀设备,加工周期和加工成本均较高的问题。其中位敏阳极包括阳极基底、W电极、S电极及Z电极,所述W电极和S电极位于同一个平面层,且位于阳极基底的顶层;所述Z电极位于另外一个平面层,且位于阳极基底的底层。将三个电极分别位于两个不同的平面层,降低了对制作设备和制作工艺的要求,大大简化了位敏阳极的制作难度,缩短了位敏阳极的制作周期;增加了电极间绝缘沟道的宽度,避免了两个电极间绝缘沟道过窄,降低了两电极间导通的风险,提高了探测器的可靠性。

基本信息
专利标题 :
一种感应读出的异层结构位敏阳极
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922272303.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-17
授权号 :
CN211401438U
授权日 :
2020-09-01
发明人 :
刘永安盛立志苏桐刘哲赵宝升田进寿
申请人 :
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址 :
陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
代理机构 :
西安智邦专利商标代理有限公司
代理人 :
董娜
优先权 :
CN201922272303.X
主分类号 :
G01J11/00
IPC分类号 :
G01J11/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J11/00
测量单个光脉冲或光脉冲序列的特性
法律状态
2020-09-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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