一种新型水压传感器
授权
摘要

本实用新型属于水压传感器技术领域,尤其为一种新型水压传感器,包括基座和陶瓷板,所述陶瓷板的上表面涂覆有胶,所述陶瓷板的上表面通过胶固定连接有PCB总成,所述PCB总成的上表面安装有MEMS,所述MEMS贯穿PCB总成与陶瓷板固定连接,所述陶瓷板的中心位置开设有硅油孔,所述硅油孔的内部设置有硅油,所述MEMS的上表面覆盖有硅凝胶,所述陶瓷板通过胶与基座的内底壁固定连接,所述基座螺纹端的进压口注入硅凝胶。本实用新型通过先将MEMS、PCB总成和陶瓷板固定成一个独立的模块,然后再通过胶固定在基座的内部,这样可批量使用机器化生产,这样可以有效的控制产品成品率,大大降低产品的成本,通过设置硅油和硅凝胶形成表压硅片,灵敏度高。

基本信息
专利标题 :
一种新型水压传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922282674.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-18
授权号 :
CN210922932U
授权日 :
2020-07-03
发明人 :
徐鑫张科俊
申请人 :
无锡至鑫微科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区龙湖滟澜艺墅589-530
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201922282674.6
主分类号 :
G01L9/08
IPC分类号 :
G01L9/08  G01L19/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力;用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移,该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/08
利用压电器件的
法律状态
2020-07-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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