一种防水压差传感器
授权
摘要
本实用新型提供了一种防水压差传感器，包括基板，基板上罩设有顶端敞口的壳体，壳体和基板围成的封装空间内设置有电连接的MEMS芯片和ASIC芯片，ASIC芯片与基板电连接；封装空间内填充有密封胶，且密封胶覆盖MEMS芯片和ASIC芯片；基板背离壳体的一侧设有凹槽，凹槽的槽底设有与MEMS芯片的背腔连通的通孔结构；凹槽内设置有覆盖所述通孔结构的防水透气膜。一方面密封胶可以阻止水由产品正面即壳体的敞口处进入MEMS芯片的敏感膜，另一方面防水透气膜可以防止外部的水由产品背面即通孔结构处进入MEMS芯片的敏感膜；可实现全面防水，极大程度降低了产品在应用环境中的失效风险，提高了产品的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种防水压差传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123027140.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
CN216687492U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
赵金强巩向辉闫文明田峻瑜刘乃玉韩晓东
申请人 ：
歌尔微电子股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼
代理机构 ：
潍坊正信致远知识产权代理有限公司
代理人 ：
贾宝娟
优先权 ：
CN202123027140.2
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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