供液箱集成加热装置及温控系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型涉及半导体生产领域，提供供液箱集成加热装置及温控系统。该供液箱集成加热装置包括供液箱、加热器以及设于所述供液箱中的流体限制装置，所述加热器设于所述流体限制装置中，所述流体限制装置上设有与所述供液箱的内腔连通的流体入口，所述流体限制装置上还设有流体出口，所述流体出口通过出液管连通至所述供液箱外。本实用新型能够提高液体和加热器的换热效率，保证出口液体温度相对恒定，保证控温精度。
基本信息
专利标题 ：
供液箱集成加热装置及温控系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922294091.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-18
授权号 ：
CN210778513U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
吕志伟何文明马健
申请人 ：
北京京仪自动化装备技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
谭云
优先权 ：
CN201922294091.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-09-10 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京京仪自动化装备技术有限公司
变更后 : 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层
变更后 : 100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京京仪自动化装备技术有限公司
变更后 : 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层
变更后 : 100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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