一种用于太赫兹探测的光学耦合结构

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摘要

本实用新型涉及一种用于太赫兹探测的光学耦合结构，属于太赫兹探测技术领域。主要包括透镜，所述透镜具有一平面和一球面，所述透镜的平面上设有衬底，所述衬底上设有太赫兹探测器件上，且所述太赫兹探测器件设于透镜的平面的中心；太赫兹波经所述透镜额球面、衬底后聚焦入射于太赫兹探测器件上。所述透镜的球面的半径R大于10倍的太赫兹波波长，且所述透镜的横截面大于太赫兹探测器件。所述透镜为高阻本征硅材质件的超半球硅透镜，所述衬底为高阻本征硅衬底。本申请减小太赫兹源的光斑大小，使其与太赫兹探测器件的有效接收面积大小一致，提高了太赫兹探测器件对入射太赫兹波的有效利用，从而提高太赫兹探测器的灵敏度。

基本信息

专利标题：

一种用于太赫兹探测的光学耦合结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922294454.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-19

授权号：

CN210981521U

授权日：

2020-07-10

发明人：

张凯沈文董卓孟祥

申请人：

江苏盖姆纳米材料科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市江阴市临港新城区镇澄路3433号

代理机构：

江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙燕波

优先权：

CN201922294454.5

主分类号：

G01J1/04

IPC分类号：

G01J1/04