一种室温黑磷太赫兹探测器
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摘要
本专利公开了一种室温黑磷太赫兹探测器。器件结构自下而上依次为：第一层是本征硅衬底、第二层是氧化物层、第三层是黑磷以及搭在黑磷上的非对称的蝴蝶形天线和天线两侧的金属电极。器件制备步骤是将机械剥离的黑磷转移到衬底上，运用紫外光刻或者电子束曝光方法结合倾角蒸镀工艺制备非对称的蝴蝶形天线和金属电极，形成黑磷太赫兹探测器。当太赫兹光照射器件时，黑磷内载流子在赛贝克电动势驱动下单向运动，产生响应信号并实现室温快速的太赫兹的探测。该探测器具有高速、宽频、高响应、高集成度等特点，可以在室温下对新鲜的树叶进行无损伤主动成像，为实现室温太赫兹探测器大规模应用奠定基础。
基本信息
专利标题 ：
一种室温黑磷太赫兹探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921070803.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-10
授权号 ：
CN210272401U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
王林郭万龙郭程陈效双陆卫
申请人 ：
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 ：
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 ：
上海沪慧律师事务所
代理人 ：
郭英
优先权 ：
CN201921070803.9
主分类号 ：
H01L31/08
IPC分类号 ：
H01L31/08 H01L31/02 H01L31/028 H01L31/0224 H01L31/18 H01Q1/22
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法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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