一种室温超短沟道硒化铂太赫兹探测器
授权
摘要
本专利公开了一种室温超短沟道硒化铂太赫兹探测器。器件结构自下而上依次为:第一层是衬底、第二层是氧化层、第三层是硒化铂以及搭在硒化铂上的非对称的蝶形天线和天线两侧的金属电极。器件制备步骤是将机械剥离的硒化铂转移到氧化层上,用紫外光刻方法和倾角蒸镀工艺制备非对称的蝶形天线和金属电极,形成硒化铂太赫兹探测器。太赫兹光照射时,赛贝克电动势驱动硒化铂内载流子定向运动,实现室温快速的太赫兹的探测。该探测器具有高速、宽频、高响应、高稳定性等优点,可以在室温下对树叶进行无电离损伤成像,也可以对封装在纸袋中的金属钥匙透射成像,为实现室温太赫兹探测器广泛应用奠定基础。
基本信息
专利标题 :
一种室温超短沟道硒化铂太赫兹探测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921986862.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-18
授权号 :
CN210866220U
授权日 :
2020-06-26
发明人 :
王林郭万龙郭程陈效双陆卫
申请人 :
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 :
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 :
上海沪慧律师事务所
代理人 :
郭英
优先权 :
CN201921986862.0
主分类号 :
H01L31/115
IPC分类号 :
H01L31/115 H01L31/0392 H01L31/032 H01L31/02 H01L31/18
相关图片
法律状态
2020-06-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN210866220U.PDF
PDF下载