一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置
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摘要

一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置,涉及半导体加工技术领域,与传统的平面磨床用工件固定装置相比,该可调节固定装置包括托盘、基座和水槽。水槽设置有用于微调托盘位置的推动件和调节螺纹件。随着调节螺纹件的旋入可以改变托盘在水槽宽度方向上的位置,而推动件则用于将托盘夹紧。托盘和基座之间还通过第一滑槽和滑块实现滑动配合,这种配合方式实现了托盘和基座的可拆卸连接,并且使得托盘只能在基座的宽度方向上相对滑动,从而在整个可调节固定装置做往复运动时能保持较好的稳定性。

基本信息
专利标题 :
一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922299585.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-19
授权号 :
CN211249391U
授权日 :
2020-08-14
发明人 :
马红彬宛鹏
申请人 :
河南雅利安新材料有限公司
申请人地址 :
河南省郑州市荥阳市金寨乡金寨村
代理机构 :
成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张勋
优先权 :
CN201922299585.2
主分类号 :
B24B7/07
IPC分类号 :
B24B7/07  B24B27/00  B24B41/06  B24B41/02  B24B47/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置,包括抛光平面玻璃表面;及其附件
B24B7/07
使用固定工作台的
法律状态
2020-08-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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