一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置，涉及半导体加工技术领域，与传统用于平面磨床的工件固定装置相比，该冷却固定装置具有中空的托盘，在打磨过程中，可以向托盘中注入冷却水，保持对石蜡的冷却，避免因石蜡融化而导致工件脱落的问题。进水管设置于基座上，进水管在注水的同时，还能扮演连接件的角色，实现托盘和基座的快速连接固定。除此之外，一般的平面磨床基本上都有循环水用以对砂轮进行冷却，在对托盘冷却时，只需要直接接入现有的循环水系统即可，并且现有平面磨床本身具备的用以回收循环水的水槽也可以直接用来接收托盘中流出的水，所以整个冷却固定装置并不需要对设备进行大的改动，制造成本较低。同时，该冷却固定装置提高了对循环水的利用率，还具备节能的效果。