一种真空度恒定的真空镀膜机
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，且公开了一种真空度恒定的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的一侧侧壁通过管道连通有真空泵，所述真空镀膜机本体的上端内壁固定连接有物料架，且真空镀膜机本体的一侧侧壁固定连接有负压仓，所述负压仓与真空镀膜机本体连通设置，且负压仓的内壁滑动连接有真空腔，所述真空腔靠近真空镀膜机本体的一侧滑动连接有挡板。该种真空度恒定的真空镀膜机，通过距离传感器配合电动推杆和真空腔，利用电动推杆移动真空腔调整真空镀膜机本体的内部容积快速实现真空度的快速调整，然后配合真空泵进行真空度的缓速调整，并使真空腔回归初始位置，及时响应下次真空度变化。
基本信息
专利标题 ：
一种真空度恒定的真空镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922304887.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211339679U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
封文炎阮志明吴敬超林敏赖鸿飞廖俊峰王波魏城峰
申请人 ：
深圳市正和忠信股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坪地街道佳兴路2号
代理机构 ：
中山市兴华粤专利代理有限公司
代理人 ：
邓爱军
优先权 ：
CN201922304887.4
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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