一种磁控溅射设备的真空腔体的密封装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种磁控溅射设备的真空腔体的密封装置，包括用于安装在磁控溅射设备的真空腔体的内侧边缘的截面为圆形的支撑密封圈，真空腔体的两侧分别设置有基体，支撑密封圈的两侧分别抵顶基体，真空腔体至少设置有两个支撑密封圈，在相邻的两个密封圈之间设置有软质密封圈，软质密封圈的两侧分别设置有密封面，两侧的密封面分别抵贴真空腔体两侧的基体，软质密封圈与相邻两侧的支撑密封圈之间分别形成第一次真空腔和第二次真空腔，真空腔体的至少一侧基体设置有第一次级真空抽气孔和第二次级真空抽气孔，第一次级真空抽气孔与第一次真空腔连通，第二次级真空抽气孔与第二次真空腔连通。本密封装置，密封面积大，包容性能强，密封效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种磁控溅射设备的真空腔体的密封装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922329012.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN211398567U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
汪永熙
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
李少欢
优先权 ：
CN201922329012.X
主分类号 ：
F16J15/10
IPC分类号 ：
F16J15/10 C23C14/35
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J15/00
密封
F16J15/02
在相对固定的面之间
F16J15/06
带有压紧在密封面之间的固体填料
F16J15/10
带有非金属填料
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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