表贴式压电微泵
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摘要
本实用新型公开了一种表贴式压电微泵，泵体内入流沉腔和中心沉腔通过进液孔连通，中心沉腔和出流沉腔通过排液孔连通。泵体下表面的入出液口与入出流沉腔连通；压电振子安装在泵体上表面，压电振子底电极和顶电极分别通过导电通道从泵体下表面引出；泵体上表面设有将外露的底电极、顶电极和导电通道上端覆盖的绝缘层。在泵体上表面设有顶盖，顶盖将压电振子和泵体上表面封盖，顶盖和泵体上表面之间形成气压平衡腔，在入流沉腔与气压平衡腔之间之间设有气压平衡通道。泵体由四块设有孔道和型腔的基板构成。本压电微泵方便加工，具有体积小、重量轻、封装接口一体化集成、输出流量大、适于封闭流体回路的特点。
基本信息
专利标题 ：
表贴式压电微泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922330180.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN211038979U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
余怀强
申请人 ：
中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请人地址 ：
重庆市南岸区南坪花园路14号
代理机构 ：
重庆博凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
李海华
优先权 ：
CN201922330180.0
主分类号 ：
F04B43/04
IPC分类号 ：
F04B43/04 F04B53/00 F04B53/16 F04B53/10
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B43/00
具有柔性工作元件的机械、泵，或泵送装置
F04B43/02
具有板状柔性件，例如隔膜
F04B43/04
具有电气驱动的泵
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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