压电微泵阵列、微系统及微系统的热管理方法
授权
摘要

本发明提供一种压电微泵阵列、微系统及微系统的热管理方法,压电微泵阵列包括N个呈分布式连接的压电微泵单元,压电微泵单元具有第一端口、第二端口、第三端口及第四端口;N个压电微泵单元的第一端口通过流道连在一起,N个压电微泵单元的第四端口通过流道连在一起,且第i个压电微泵的第三端口通过流道与第i+1个压电微泵单元的第二端口连在一起;通过外部电信号对压电微泵阵列中的N个呈分布式连接的压电微泵单元进行控制,能有效改变N个压电微泵单元的串并联状态,串联使用时能提高流体的输出压强,并联使用时能提升流体的输入输出流量,从而能有效满足微系统的微流体散热时的大流量和高压强需求,提升微系统的散热效果。

基本信息
专利标题 :
压电微泵阵列、微系统及微系统的热管理方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113898563A
申请号 :
CN202111177284.8
公开(公告)日 :
2022-01-07
申请日 :
2021-10-09
授权号 :
CN113898563B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
余怀强
申请人 :
中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请人地址 :
重庆市南岸区南坪花园路14号
代理机构 :
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 :
李铁
优先权 :
CN202111177284.8
主分类号 :
F04B43/04
IPC分类号 :
F04B43/04  F04B49/00  F04B49/06  F04B53/08  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B43/00
具有柔性工作元件的机械、泵,或泵送装置
F04B43/02
具有板状柔性件,例如隔膜
F04B43/04
具有电气驱动的泵
法律状态
2022-04-15 :
授权
2022-01-25 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04B 43/04
申请日 : 20211009
2022-01-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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