涂胶设备及其承载机构

授权

摘要

本实用新型提供一种涂胶设备及其承载机构，本实用新型提供的承载机构，包括承载台和支撑柱；承载台沿厚度方向间隔形成有多个贯穿通道，支撑柱能够沿贯穿通道的延伸方向移动，以使支撑柱能够穿出贯穿通道并承接在基板的底部，并在支撑柱的顶端下降至贯穿通道内时，基板下降至承载台的承载面上；支撑柱的顶端面被配置成与基板平行的平面，且在基板与承载台的承载面接触时，支撑柱的顶端面与承载面齐平，使得基板位于贯穿通道上方的部分与支撑柱的顶端面充分接触，从而将基板位于贯穿通道上方的部分的热量传递至支撑柱上，将基板的其他部分的热量传递至承载台上，确保了基板上各个位置的光刻胶的溶剂的挥发效率的一致性。

基本信息

专利标题：

涂胶设备及其承载机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922333616.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-23

授权号：

CN211587343U

授权日：

2020-09-29

发明人：

方波钮磊杜宇

申请人：

成都中电熊猫显示科技有限公司

申请人地址：

四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

车晓军

优先权：

CN201922333616.1

主分类号：

B05C13/02

IPC分类号：

B05C13/02