承载组件及涂胶显影机
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种承载组件及涂胶显影机,涉及半导体制造设备技术领域,用于解决晶圆生产效率低的技术问题。该承载组件包括支撑柱、第一载台和第二载台;第二载台设置有容纳腔和与容纳腔连通的安装通孔,第二载台包括至少两个壳体,至少两个壳体拼合形成与支撑柱适配的安装通孔,以及包围第一载台的容纳腔,且至少两个壳体可拆卸连接。当第二载台损坏时,在不拆卸第一载台的基础上,将第二载台拆卸以显露第一载台,由第一载台继续承载,节省了第一载台的安装时间,提高晶圆的生产效率。此外,当第一载台损坏时,在不拆卸第一载台的基础上,将第二载台安装在第一载台外,由第二载台继续承载,节省了第一载台的拆卸时间,进一步提高晶圆的生产效率。

基本信息
专利标题 :
承载组件及涂胶显影机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114442433A
申请号 :
CN202011204344.6
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2020-11-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈步祥
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
张海明
优先权 :
CN202011204344.6
主分类号 :
G03F7/16
IPC分类号 :
G03F7/16  G03F7/30  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/16
申请日 : 20201102
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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