用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置
授权
摘要
本实用新型专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置,涂胶显影机包括作业平台、安装于作业平台的吸盘和涂胶装置。喷嘴锁定装置包括动力机构和锁定机构。动力机构安装于作业平台。锁定机构包括一基座和多个锁定支架,基座安装于工装载具的一侧,多个锁定支架均铰接于基座,且每一锁定支架和基座的铰接处均设有一弹性件。锁定支架在弹性件的作用下对接与其相对应的喷嘴,以将喷嘴锁定于工装载具;及动力机构用于对接任一锁定支架,以驱动锁定支架脱离于喷嘴。本实用新型能够有效确保涂胶显影机在运行的过程中,喷嘴能够始终处于稳固的状态,不会轻易从工装载具上脱离,从而能够在很大程度上提高对晶圆涂胶的稳定性。
基本信息
专利标题 :
用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122130839.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-03
授权号 :
CN216150260U
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
金浩天孙游
申请人 :
上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路75号10幢505室
代理机构 :
上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王法男
优先权 :
CN202122130839.5
主分类号 :
B05C5/02
IPC分类号 :
B05C5/02 B05C11/00 G03F7/16 G03F7/26
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射,灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2022-04-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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