一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及涂胶显影机技术领域,且公开了一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法,解决了现有的涂胶显影机自动化程度低,每次硅片的取放都很麻烦,功能比较单一,涂胶时,效率较为低下,不便于实际操作的问题,其包括控制箱,所述控制箱的上方设有若干旋转盘,旋转盘的顶部开设有放置槽,控制箱的顶部固定连接有两个侧板,控制箱的上方设有两个固定座,固定座的下方设有涂胶器本体,涂胶器本体和固定座通过液压伸缩缸连接,两个侧板之间设有与固定座相配合的驱动组件,控制箱内设有若干第一转轴;硅片自身旋转,进而使得涂胶更加平整均匀,提高了工作效率,可以使得放置槽内的硅片脱离出来,便于取出硅片。
基本信息
专利标题 :
一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114496856A
申请号 :
CN202210104153.5
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
贺武峰吴想
申请人 :
江西维易尔半导体设备有限公司
申请人地址 :
江西省上饶市经济技术开发区光电创谷路9号厂房
代理机构 :
南昌金轩知识产权代理有限公司
代理人 :
李楠
优先权 :
CN202210104153.5
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67 G03F7/16 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20220128
申请日 : 20220128
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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