一种涂胶显影机的位置监测系统
授权
摘要
本实用新型揭示了一种涂胶显影机的位置监测系统，涂胶显影机包括：传送手臂，用于传送晶圆至旋转单元的手臂；旋转承载平台，用于晶圆在旋转单元中的承载平台；所述位置监测系统包括：激光发射器和激光接收器，所述晶圆和旋转承载平台的相向面固定有相配合的激光发射器和激光接收器，当晶圆通过传送手臂传送到旋转单元且传送位置正确时，激光发射器发出的激光束由相配合的激光接收器接收。本实用新型结构简单，工作稳定可靠，能够杜绝了因晶圆在旋转平台上偏轴而造成的产品不良，缺陷，及掉片。
基本信息
专利标题 ：
一种涂胶显影机的位置监测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921847286.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-30
授权号 ：
CN211086915U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
卢建卫
申请人 ：
安徽熙泰智能科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市芜湖长江大桥综合经济开发区高安街道经四路一号办公楼五楼
代理机构 ：
芜湖安汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱圣荣
优先权 ：
CN201921847286.1
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16 G03F7/26 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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