一种涂胶显影机化学液供料系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种涂胶显影机化学液供料系统，包括：第一缓冲罐、第二缓冲罐、原料输出泵、原料储存罐；所述第一缓冲罐通过第一管道连接所述原料输出泵；所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道的通闭；所述第二缓冲罐通过第二管道连接所述原料输出泵；所述第二管道上设置有第二阀门，用于控制所述第二管道的通闭；所述原料储存罐通过第三管道连接所述第一缓冲罐；所述第三管道上设置有第三阀门，用于控制所述第三管道的通闭；所述原料储存罐通过第四管道连接所述第二缓冲罐；所述第四管道上设置有第四阀门，用于控制所述第四管道的通闭。本实用新型的技术效果是：运行过程维护方便，供料过程中不中断。

基本信息

专利标题：

一种涂胶显影机化学液供料系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021945811.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-08

授权号：

CN213122595U

授权日：

2021-05-04

发明人：

张怀宣

申请人：

上海众鸿电子科技有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

郭桂峰

优先权：

CN202021945811.6

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16 G03F7/30