用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置
授权
摘要
本实用新型专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，涂胶显影机包括用于吸附晶圆的吸盘和用于对晶圆进行涂胶的喷嘴组件。喷嘴组件包括多个呈并列设置的喷嘴，喷嘴夹持装置包括夹持机构和调节机构。夹持机构具有一夹持部，每一喷嘴均设有一和夹持部相限位配合的对接部。调节机构驱动连接于夹持机构远离夹持部的一端。其中，调节机构用于驱动夹持部对接于任一喷嘴的对接部，并将喷嘴输送至吸盘的上方位置，以对吸附于吸盘上的晶圆进行涂胶，及在涂胶结束后，将喷嘴送回至初始位置。本实用新型提供的用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，能够大大提高喷嘴在使用过程中的稳定性，从而实现对吸附于吸盘上的晶圆进行精准涂胶。
基本信息
专利标题 ：
用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122132093.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-03
授权号 ：
CN216150261U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
金浩天孙游
申请人 ：
上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路75号10幢505室
代理机构 ：
上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王法男
优先权 ：
CN202122132093.1
主分类号 ：
B05C5/02
IPC分类号 ：
B05C5/02 G03F7/16
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
