一种新型5寸掩模版贴膜工具
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型5寸掩模版贴膜工具，包括中央镂空的主体支架、定位兼导向块和压力杆，定位兼导向块分布于中央镂空的主体支架的四周，压力杆设置在主体支架四角上；所述压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应。主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的4个压力杆和5寸掩模版四个角位置是否对应。本实用新型设计科学合理，操作简单方便，本实用新型解决了人工使用四根手指来按压掩模基板，取而代之地使用四根压力杆可以在掩模基板四角压力均匀，且不会因手指按压留下痕迹。
基本信息
专利标题 ：
一种新型5寸掩模版贴膜工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922349613.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-24
授权号 ：
CN211603837U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
薛文卿华卫群季书凤杨长华张月圆
申请人 ：
无锡中微掩模电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新区菱湖大道202号
代理机构 ：
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
谷金颖
优先权 ：
CN201922349613.7
主分类号 ：
G03F1/62
IPC分类号 ：
G03F1/62 G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/62
薄膜或薄膜集合，例如在支持框架上具有薄膜；其制备
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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