本实用新型提供了一种玻璃基板蚀刻脱模装置，主要包括脱模机构，脱模机构由机械臂、楔形铲刀、罗茨风机、鼓风通道构成；脱模机构位于脱模腔内，脱模腔内贯通有鼓风通道；脱模腔两侧固定连接有支撑板，支撑板上活动连接有机械臂；机械臂上铰接有楔形铲刀；支撑板底部设有蚀刻槽；蚀刻槽位于底座顶部，蚀刻槽与鼓风通道相连通。本实用新型通过驱动机械臂带动楔形铲刀，铲入玻璃基板与吸附垫的边缘缝隙处，均匀缓慢推进，抬高玻璃基板使得与吸附垫分离，同时脱模腔内注入气体，保持玻璃基板脱模时内外压力的均匀，避免发生翘曲变形现象，良率高，稳定性强，可移动，使用便捷，经济适用性好，具有广阔的市场前景。