蚀刻基板边沿压紧框架
授权
摘要
本实用新型公开了一种蚀刻基板边沿压紧框架,包括呈环状结构的本体,本体中心形成露出孔,本体包括从外至内依次设置的平衡部、支撑部和遮蔽部,平衡部、支撑部和遮蔽部的上表面齐平,厚度分别为h1、h2和h3,且h1>h2>h3,其中支撑部的下表面具有向下凸出的支撑凸点,所述支撑凸点的厚度为h4,且h1≥h2+h4;所述遮蔽部端部具有沿其长度方向向外延伸的接触部,所述接触部上表面与遮蔽部上表面齐平,接触部的厚度为h5,且h2>h5>h3,所述接触部远离露出孔的一端与遮蔽部之间具有弧形倒角。有利于提高框架在底座上的稳定性,同时防止蚀刻气体侵入对框架和基板边沿破坏,大大延长框架的使用寿命,并提高基板成品品质。
基本信息
专利标题 :
蚀刻基板边沿压紧框架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921424078.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-29
授权号 :
CN210015836U
授权日 :
2020-02-04
发明人 :
李东一梁君
申请人 :
重庆臻宝实业有限公司
申请人地址 :
重庆市九龙坡区西彭镇森迪大道66号附72号
代理机构 :
重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
龙玉洪
优先权 :
CN201921424078.0
主分类号 :
H01J37/32
IPC分类号 :
H01J37/32 H01L21/687 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-02-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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