基板制程用的框架

授权

摘要

本实用新型提供一种基板制程用的框架，其包括两个夹具，呈相对向设置；四个动力机构，夹具的两端分别设有动力机构，动力机构包括壳体、齿条、齿轮、弹性组件及驱动组件，齿条与齿轮相互啮合且设于壳体中，齿轮的一侧连接夹具的一端，弹性组件抵顶于齿条与壳体之间，驱动组件设于齿轮的另一侧或齿条，驱动组件露出壳体外；两个第一连杆，呈相对向设置，第一连杆的两端分别设有动力机构，第一连杆位于两个夹具之间。由此，本实用新型可作为基板的传输使用，且由动力机构驱动夹具，使夹具稳固夹持基板或释放基板，而达到便于传输基板至后续制程的功效。

基本信息

专利标题：

基板制程用的框架

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020237707.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-02

授权号：

CN211806223U

授权日：

2020-10-30

发明人：

周坤麟

申请人：

叙丰企业股份有限公司

申请人地址：

中国台湾桃园市

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司

代理人：

南霆

优先权：

CN202020237707.5

主分类号：

B25J15/08

IPC分类号：

B25J15/08