基板湿制程的剥膜药剂过滤装置
授权
摘要
本实用新型为一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，包括剥膜机体、振动机体及过滤结构。该剥膜机体包含药剂槽及喷洒机构。振动机体包含振动台及振动机构，振动机构包含一对致动器、受该对致动器带动的一对偏心机构及连接该对偏心机构的连杆。过滤结构设置在振动台上，且包含过滤网及框围过滤网的过滤框，过滤框连接连杆且过滤框的一部分延伸至药剂槽及喷洒机构之间而承接通过剥膜作业的废膜药剂；借此达到缩小剥膜药剂过滤装置整体体积的目的。
基本信息
专利标题 ：
基板湿制程的剥膜药剂过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021721159.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-18
授权号 ：
CN213853429U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
巫坤星吕理榕锺添达谢东桦
申请人 ：
扬博科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台北市信义区松德路171号17楼
代理机构 ：
北京汇泽知识产权代理有限公司
代理人 ：
周鹤
优先权 ：
CN202021721159.X
主分类号 ：
B01D35/02
IPC分类号 ：
B01D35/02 B01D29/01
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D35/00
具有不专门包括在B01D24/00至B01D33/00组中的特征或应用的过滤装置；用于过滤的辅助装置；过滤器外壳结构
B01D35/02
适用于特殊场所的过滤器，如管道、泵、管塞
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN213853429U.PDF
PDF下载
