一种可防漏的光刻机丝杆冷却系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种可防漏的光刻机丝杆冷却系统，属于机床配件技术领域，包括一个闭环循环系统，其特征在于，所述闭环循环系统中设有电磁阀，所述电磁阀连有漏液传感器，所述漏液传感器的位置低于所述闭环循环系统。本实用新型能够及时有效检知漏液，警报并切断出液管路，避免漏液越来越多、进而损坏机台内部重要部件的情况发生，大大提了设备安全性。
基本信息
专利标题 ：
一种可防漏的光刻机丝杆冷却系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922407832.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-28
授权号 ：
CN211427048U
授权日 ：
2020-09-04
发明人 ：
徐惠懂王友伟
申请人 ：
爱特微（张家港）半导体技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港经济技术开发区新丰东路3号
代理机构 ：
常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨静文
优先权 ：
CN201922407832.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-09-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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