本实用新型公开了一种晶圆高温测试载台，包括加热载台、晶圆载板、进气接口和出气接口，加热载台上表面凹设安装位，并且在加热载台内部设置加热腔，进气接口和出气接口设置在加热载台上，并且与加热腔连接，利用进气接口将热压缩气体注入加热腔内，并从出气接口排出，晶圆载台设置在安装位上。本实用新型通通过热压缩气体作为加热源，通过整个加热腔对晶圆载板进行加热，使得整个腔体温度始终保持在一个稳定的状态，且整个腔体温度一致性较好，更快速、高效、安全。通过圆柱形加热腔结构设置，使得热压缩气体呈环形方式移动，利用热传导方式将热量传递至测试晶圆。