MEMS麦克风和电子设备
授权
摘要
本实用新型公开一种MEMS麦克风和电子设备，MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在基底上的电容系统，电容系统包括第一背极以及与第一背极相对的第一振膜，第一背极与第一振膜间隔设置并形成第一振动间隙，第一振膜在第一振动间隙和背腔之间振动，其特征在于，MEMS麦克风还包括至少一个第一绝缘支撑件，第一绝缘支撑件位于第一振动间隙内，第一绝缘支撑件设于第一背极表面和第一振膜表面中的至少一个，第一绝缘支撑件在高度方向的高度d与第一振动间隙在高度方向的高度s的关系为：0.01um≤s‑d≤1um。本实用新型技术方案旨在保证振膜在振动过程中不与背板粘接的基础上，使得振膜良好地振动，降提高MEMS麦克风的灵敏度和信噪比。
基本信息
专利标题 ：
MEMS麦克风和电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922430321.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN210609708U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
邱冠勋周宗燐卓彦萱卫勇
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室查看地址
代理机构 ：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 ：
胡海国
优先权 ：
CN201922430321.6
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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