本实用新型涉及抛光技术领域，公开一种抛光头驱动装置及抛光设备。抛光头驱动装置包括安装板、升降机构和动力机构。升降机构设置在安装板上，升降机构包括升降电机、丝杆、丝杆螺母和升降板，升降电机能够驱动丝杆转动以使丝杆螺母带动升降板升降。动力机构设置在升降板上，动力机构包括主轴、转动电机和分气块，转动电机位于主轴的一侧且能够驱动主轴转动，主轴的一端被配置为与抛光头组件固定连接，另一端与分气块固定连接，分气块通过主轴与抛光头组件连通，以使抛光头组件能够吸附硅片以及调节硅片的抛光压力。该抛光头驱动装置不仅能精确控制升降速度和转速，还能够有效避免硅片变形和碎裂现象的发生，且结构简单紧凑，布局合理。