本实用新型公开了一种用于气相法制球形硅微粉的尾气处理装置，用于解决球形硅微粉制备过程中废气处理，避免了现有技术体积较大、废水的问题，其结构包括：输气机构、除气罐，输气机构与反应釜连通，将反应过程中产生的废气向除气罐中输送，除气罐包括内筒、外罐壁，内筒底部盛装有一定的水分，输气机构将气体通入内筒底部的水中，废气以气泡的形式穿过水面，配合水雾达到更高的净化效果，而且内筒有两层，上部分水雾的水捕集氯化氢气体以后，会顺着内筒外壁流出而被回收，同时流动过程中对内筒降温；本实用新型结构合理，体积较小，方便安装在球形硅微粉制备过程中的反应釜附近，而且相对于现有技术更加节水，使用成本更低。