一种磁控溅射设备的绝缘轴承座装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种磁控溅射设备的绝缘轴承座装置，包括轴承安装座、连接件和基座，轴承安装座设置有安装连接孔，连接件插入安装连接孔与基座连接，轴承安装座和基座之间设置有绝缘连接座，轴承安装座安装于绝缘连接座内，绝缘连接座内设置有螺栓绝缘套，螺栓绝缘套套设于安装连接孔内侧，螺栓绝缘套的中部开设有绝缘通孔，连接件插入绝缘通孔并穿过绝缘连接座与基座连接。本实用新型的绝缘轴承装置，使镀膜基体处于绝缘状态，杜绝电子转移，防止尖端放电情况发生，提高产品合格率。
基本信息
专利标题 ：
一种磁控溅射设备的绝缘轴承座装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922477452.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211170868U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
汪永熙
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
李少欢
优先权 ：
CN201922477452.X
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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