MEMS致动系统
授权
摘要
本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。该平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。
基本信息
专利标题 ：
MEMS致动系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111656240A
申请号 ：
CN201980007529.7
公开（公告）日 ：
2020-09-11
申请日 ：
2019-01-24
授权号 ：
CN111656240B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
王桂芹刘晓蕾马修·恩格
申请人 ：
麦斯卓有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京高文律师事务所
代理人 ：
王冬
优先权 ：
CN201980007529.7
主分类号 ：
G02B7/04
IPC分类号 ：
G02B7/04 G02B7/09 H01L41/09
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/02
用于透镜
G02B7/04
有聚焦或改变放大率的机构
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2021-03-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 7/04
申请日 : 20190124
申请日 : 20190124
2020-09-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN111656240A.PDF
PDF下载
