本发明的成像分析装置的一方案具备：分析执行部(1)，分别对在试样上的测量区域内设定的多个测量点执行基于规定的分析方法的分析来收集成像数据；参照图像获取部(2)，获取针对所述测量区域的参照图像；回归分析执行部(36)，针对对相同试样得到的所述成像数据和所述参照图像，执行以该成像数据为说明变量，以构成该参照图像的数据为目标变量的规定的回归分析的运算，获取回归模型；预测图像生成部(37)，对与执行所述回归分析时的试样不同的试样，通过将由所述分析执行部得到的成像数据应用于所述回归模型，由此生成基于模拟的回归分析结果的预测图像。