成像质量分析装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及成像质量分析装置，通过对试样照射激光来生成离子，对该离子进行质量分析，具备：激光照射部(30)，向所述试样射出激光；聚光光学系统(33)，配置于所述激光照射部(30)与所述试样之间，将从所述激光照射部(30)发出的激光进行聚光；拍摄部(40)，获取能够确认所述激光照射部(30)射出的激光在所述试样上的聚光状态的光学显微图像即聚光状态确认图像；显示部(64)，将由所述拍摄部(40)获取的聚光状态确认图像显示在显示画面。
基本信息
专利标题 ：
成像质量分析装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114450587A
申请号 ：
CN202080067563.6
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
三嶋贤一竹下建悟
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本国京都府
代理机构 ：
上海立群专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨楷
优先权 ：
CN202080067563.6
主分类号 ：
G01N27/64
IPC分类号 ：
G01N27/64 H01J49/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/30
•••电极，例如测试电极；半电池
G01N27/60
通过测试静电变量
G01N27/64
利用波或粒子辐射电离气体，例如在电离室内
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/64
申请日 : 20200929
申请日 : 20200929
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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