质量分析装置和质量分析方法
授权
摘要
本发明的一个方面所涉及的质量分析装置(200)包括试样台(1)、激光照射部(201)和检测器(203)，试样台(1)以如下方式构成：包括载置试样(10)并且设置有从一个面(21a)贯通至另一个面(21b)的多个贯通孔(S)的基板(21)和至少覆盖在一个面(21a)上未设置贯通孔(S)的部分的导电层(23)的试样支承体(2)以另一个面(21b)与试样(10)相对的方式载置，激光照射部(201)以向一个面(21a)上的成像对象区域(R1)照射激光(L)的方式控制激光(L)的照射，检测器(203)在维持成像对象区域(R1)上的试样(10)的位置关系的状态下对通过激光(L)的照射而离子化的试样(10)进行检测。
基本信息
专利标题 ：
质量分析装置和质量分析方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110383056A
申请号 ：
CN201880016091.4
公开（公告）日 ：
2019-10-25
申请日 ：
2018-03-01
授权号 ：
CN110383056B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
内藤康秀小谷政弘大村孝幸
申请人 ：
浜松光子学株式会社
申请人地址 ：
日本静冈县
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨琦
优先权 ：
CN201880016091.4
主分类号 ：
G01N27/62
IPC分类号 ：
G01N27/62 G01N27/64
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离，例如气溶胶；通过测试放电，例如阴极发射
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2019-11-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/62
申请日 : 20180301
申请日 : 20180301
2019-10-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN110383056A.PDF
PDF下载
