药液配比方法及药液配比装置
授权
摘要
本发明提供一种药液配比方法及药液配比装置，所述药液配比方法包括：将第一药液注入到第一容器；在注入所述第一药液的同时，将第二药液注入所述第一容器；实时获取所述第一药液的第一流量值；根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值；根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内。通过本发明，提高了药液配比精度和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
药液配比方法及药液配比装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111214972A
申请号 ：
CN202010048705.6
公开（公告）日 ：
2020-06-02
申请日 ：
2020-01-16
授权号 ：
CN111214972B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
李文杰张明马超牛超
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN202010048705.6
主分类号 ：
B01F3/08
IPC分类号 ：
B01F3/08 B01F15/04
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F3/00
混合，例如，按被混合的相来分散，乳化
B01F3/08
液体与液体；乳化
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2020-06-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01F 3/08
申请日 : 20200116
申请日 : 20200116
2020-06-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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