本发明公开了一种用于晶圆清洗的药液自动配比加热系统，包括外壳，外壳的内部前方安装有原液桶，外壳的内部后方安装有配比桶，原液桶与配比桶通过管道相连，外壳的内部中间安装有压力罐，配比桶与压力罐通过管道相连，压力罐的内部安装有第一液位传感器，压力罐的顶部依次安装有进气管道和排气管道，外壳的内部还安装有加热桶，加热桶内安装有自动补水系统，加热桶包括桶体，桶体内安装有水加热管和温度监测传感器，桶体内安装有螺旋管路。该用于晶圆清洗的药液自动配比加热系统中，药液通过管道在加热桶里长时间流动实现药液的加热，通过控制加热桶里水的温度就可以达到药液需要的温度，通过压力罐供液，保证供液平稳并具有回吸功能。