一种纳米压力传感器及其制备方法
授权
摘要
本发明提供了一种纳米压力传感器,包括两个导电基底和位于两个导电基底之间的纳米功能层组成,纳米功能层覆盖在其中一个导电基底的表面,还提供了制备方法,将二维纳米材料通过纳米技术覆盖在导电基底的表面,形成纳米功能层,将覆盖有纳米功能层的导电基底与未覆盖纳米功能层的导电基底组装,将纳米功能层夹在两个导电基底中间,得到纳米压力传感器。得到纳米压力传感器。本发明的纳米压力传感器在低压力区的灵敏度较高,基于纳米材料构建,可以大大减小阻压式压力传感器的压力阈值,并具有灵敏度高、制备简单的优点,在智能穿戴设备、机器人电子皮肤、物联网等领域具有广泛的应用前景。
基本信息
专利标题 :
一种纳米压力传感器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111366275A
申请号 :
CN202010172385.5
公开(公告)日 :
2020-07-03
申请日 :
2020-03-12
授权号 :
CN111366275B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
原会雨刘睿超孙启军刘皓崔俊艳高金星杨道媛
申请人 :
郑州大学
申请人地址 :
河南省郑州市高新区科学大道100号
代理机构 :
西安研创天下知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭璐
优先权 :
CN202010172385.5
主分类号 :
G01L1/22
IPC分类号 :
G01L1/22 B82Y15/00 B82Y40/00 C03C17/34
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化;应用动力电池,即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
G01L1/22
利用电阻应变仪
法律状态
2022-04-15 :
授权
2020-07-28 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/22
申请日 : 20200312
申请日 : 20200312
2020-07-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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