压力传感器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种压力传感器及其制备方法，所述压力包括衬底层；第一外延层，设置在所述衬底层的上方；内部腔室，设置在所述衬底层上方，且其顶端所在高度不高于所述第一外延层顶端所在高度；第二外延层，设置在所述内部腔室上方；岛状结构，设置在所述衬底层内部中心区域且独立于所述衬底层；连通深槽，设置在所述岛状结构与所述衬底层之间，用于将所述内部腔室与外部气体，本发明的压力传感器能够有效提高压力传感器的灵敏度一致性和线性度，提高了压力传感器的性能。
基本信息
专利标题 ：
压力传感器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114427930A
申请号 ：
CN202210103055.X
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吕萍李刚
申请人 ：
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
代理机构 ：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄海霞
优先权 ：
CN202210103055.X
主分类号 ：
G01L7/08
IPC分类号 ：
G01L7/08 G01L9/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L7/00
用机械的或流体的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力
G01L7/02
弹性形变量计式的
G01L7/08
可挠膜片式的
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 7/08
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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