一种压力传感器及制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种压力传感器，所述压力传感器包括：柔性材料层、金属基底层、半导体材料层、顶层金属膜和外电路。应用时，光照射顶层金属膜，压力从左右两方面挤压时，柔性材料层发生形变，导致凸起部的距离变短，在凹陷部的缝隙变小和发生形变，改变光吸收和所产生的热电子的数目，从而导致越过势垒到达底电极层的光电流的大小的改变；通过外电路中光电流的探测，判断压力的大小。本发明能够实现高灵敏度的压力传感。
基本信息
专利标题 ：
一种压力传感器及制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114414130A
申请号 ：
CN202210091702.X
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘翡琼彭彦莉
申请人 ：
西安柯莱特信息科技有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区高新6路立人科技园1幢1单元10401-276室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210091702.X
主分类号 ：
G01L7/08
IPC分类号 ：
G01L7/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L7/00
用机械的或流体的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力
G01L7/02
弹性形变量计式的
G01L7/08
可挠膜片式的
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 7/08
申请日 : 20220126
申请日 : 20220126
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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