机械手

授权

摘要

本申请实施例提供了一种机械手，用于抓取晶圆，其包括机械手本体、手指、固定铲爪及活动铲爪；手指与机械手本体连接；固定铲爪设置于手指上，与手指固定连接，且固定铲爪位于机械手本体的远端；固定铲爪用于从晶圆的一侧将晶圆铲起；活动铲爪活动设置于手指上，与机械手本体活动连接，且活动铲爪位于机械手本体的近端；活动铲爪用于在晶圆被铲起之后，移动至晶圆的边缘，并与固定铲爪相配合，将晶圆卡固；固定铲爪及活动铲爪分别位于晶圆的相对两侧。本申请实施例的机械手抓取晶圆成功率较高，并且由于固定铲爪及活动铲爪的共同夹持作用，使得机械手可以由晶圆的上方或下方进行抓片，从而提高了通用性能以及扩展了使用范围。

基本信息

专利标题：

机械手

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111348427A

申请号：

CN202010175696.7

公开（公告）日：

2020-06-30

申请日：

2020-03-13

授权号：

CN111348427B

授权日：

2022-04-22

发明人：

许璐赵宏宇

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司

代理人：

彭瑞欣

优先权：

CN202010175696.7

主分类号：

B65G47/90

IPC分类号：

B65G47/90 B25J11/00