用于感测压力的方法

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摘要

本发明涉及用于感测压力的方法。所述方法包括：在具有传感隔膜的传感模处接收输入压力；响应于所述输入压力挠曲所述传感隔膜；当所述传感隔膜挠曲预定量时将所述传感隔膜与隔膜止挡部的隔膜止挡部表面接合；响应于传感隔膜与隔膜止挡部的接合，限制所述传感隔膜的挠曲。所述隔膜止挡部具有包括朝向传感隔膜延伸的多个限定的突出部的形貌，并且所述形貌被配置来减小所述隔膜止挡部表面与所述传感隔膜之间相对于光滑隔膜止挡部表面的静摩擦。

基本信息

专利标题：

用于感测压力的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111397793A

申请号：

CN202010300625.5

公开（公告）日：

2020-07-10

申请日：

2015-03-24

授权号：

CN111397793B

授权日：

2022-04-12

发明人：

R.瓦德

申请人：

霍尼韦尔国际公司

申请人地址：

美国新泽西州

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

代易宁

优先权：

CN202010300625.5

主分类号：

G01L9/06

IPC分类号：

G01L9/06 G01L9/00 G01L13/06 G01L19/06