一种LCD平面靶材机加工工艺
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摘要
本发明公开了一种LCD平面靶材机加工工艺。一种LCD平面靶材机加工工艺，包括如下步骤：1)对LCD平面靶材毛坯料的两表面进行加工；2)对LCD平面靶材的溅射面进行半精铣面加工；3)对LCD平面靶材的侧面进行粗加工；4)对LCD平面靶材的溅射面进行精加工；5)对LCD平面靶材的侧面及圆弧角进行精加工。本发明的LCD平面靶材机加工工艺，通过各步加工工艺的控制，可有效解决因应力残留造成LCD平面靶材Arcing&splash等异常放电现象，有效控制了靶材在机加工后表面的应力层厚度，保证了靶材在溅射过程中的正常使用。
基本信息
专利标题 ：
一种LCD平面靶材机加工工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111408917A
申请号 ：
CN202010377533.7
公开（公告）日 ：
2020-07-14
申请日 ：
2020-05-07
授权号 ：
CN111408917B
授权日 ：
2022-05-20
发明人 ：
姚力军窦兴贤王学泽王青松胡建
申请人 ：
合肥江丰电子材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区大禹路1555号
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202010377533.7
主分类号 ：
B23P17/00
IPC分类号 ：
B23P17/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23P
未包含在其他位置的金属加工；组合加工；万能机床
B23P17/00
不包含在其他单独小类或本小类另外一组的金属加工工艺
法律状态
2022-05-20 ：
授权
2020-08-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23P 17/00
申请日 : 20200507
申请日 : 20200507
2020-07-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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