研磨头及研磨设备

授权

摘要

本发明涉及一种研磨头，用于与研磨垫配合对待研磨件进行研磨，包括：用于吸附待研磨件的吸附结构，具有一吸附面；限位环，设置于所述吸附面的边缘，所述限位环的侧壁上均匀设置有多个通孔，使得研磨液可以通过多个所述通孔进入到待研磨件的研磨侧。通过在所述限位环的侧壁上设置通孔，使得研磨液可以通过多个所述通孔进入到待研磨件的研磨侧，增加研磨液进入待研磨件的研磨侧的通道，从而提升研磨速率，避免研磨液的浪费。

基本信息

专利标题：

研磨头及研磨设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111531464A

申请号：

CN202010382859.9

公开（公告）日：

2020-08-14

申请日：

2020-05-08

授权号：

CN111531464B

授权日：

2022-04-08

发明人：

王建新

申请人：

西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请人地址：

陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司

代理人：

许静

优先权：

CN202010382859.9

主分类号：

B24B37/11

IPC分类号：

B24B37/11 B24B37/26 B24B57/02 B24B37/32 B24B37/34 B24B37/005

相关图片

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B24

磨削；抛光

B24B

用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给

B24B37/00

研磨机床或装置；附件

B24B37/11

研具

法律状态

2022-04-08 ：

授权

2021-11-12 ：

专利申请权、专利权的转移

专利申请权的转移IPC(主分类) : B24B 37/11
登记生效日 : 20211102
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 西安奕斯伟硅片技术有限公司
变更后权利人 : 西安奕斯伟材料科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
变更后权利人 : 710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
变更事项 : 申请人
变更后权利人 : 西安奕斯伟硅片技术有限公司

2020-09-08 ：

实质审查的生效

IPC(主分类) : B24B 37/11
申请日 : 20200508

2020-08-14 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN111531464A.PDF

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